在MC-ICP-MS中，ICP作为质谱的高温（8000K）离子源，样品在通道中进行蒸发质荷比、解离、原子化、电离等过程。离子通过样品锥接口和离子传输系统进入高真空的MS部分，MS部分为四极快速扫描仪，通过高速通道扫描分离测定所有原子，使形成的离子按质荷比（m/e)进行分离，不同的元素有不同的质荷比，扫描元素质量范围从6~260，通过高速双通道分离后的离子到达MC部分，MC部分是一组法拉第杯接收器，根据元素的分子离子峰进行定性定量的分析。
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